在陶瓷材料方面,美国等西方国家很早就开始了 Al2O3 陶瓷的研究和应用,并在 Al2O3 陶瓷金属化等领域开展了研究,这为 Al2O3 陶瓷在电子封装领域的应用提供了较为完善的技术支持和应用。应用性能更可靠。
陶瓷基底的现状:材料多样化、结构一体化
近年来,电动汽车、电力机车、半导体照明、航空航天、卫星通信等进入快速发展阶段。电子设备正朝着大功率、高频率、集成化的方向发展。其元件在工作过程中会产生大量热量。如果这些热量不能及时散发,就会影响芯片的工作效率,甚至造成半导体器件的损坏和失效。对于电子器件来说,通常温度每升高 10℃,器件的有效寿命就会减少 30% 至 50%。
因此,为了保证电子设备工作过程的稳定性,对电路板的散热能力提出了更高的要求。传统的普通基板和金属基板已无法满足当前工作环境下的应用需求。陶瓷基板因其绝缘性能好、强度高、热膨胀系数小、化学稳定性和导热性能优异而脱颖而出,满足了当前大功率设备对性能的要求。
材料构成 | 熔点 (℃) | 密度(克/立方厘米) | 导热系数(瓦-(米-℃)^1) | cte (10^-6 ℃^-1) | 概述 |
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氧化铝 | 1860 | 3.63 | 20~30 | 6.0~8.0 | 性价比高,应用广泛 |
氮化铝 | 2470 | 3.26 | 140~240 | 3.3~5.0 | 性能卓越,价格昂贵 |
氧化铍 | 2350 | 3.03 | 200~240 | 6.8 | 粉末有毒,限制定制用途 |
碳化硅 | 2830 | 3.2 | 250~270 | 3.7~4.2 | 硬度高,绝缘性差 |
氮化硼 | 3000 | 2.27 | 55~60 | 2.0~3.0 | 硬度高,难以加工 |
氧化铝陶瓷 has the advantages of rich sources of raw materials, low price, high insulation, thermal shock resistance, chemical corrosion resistance and high mechanical strength. It is a ceramic substrate material with good comprehensive performance, accounting for 80% of the total ceramic substrate materials. %above. However, due to its relatively low thermal conductivity (the thermal conductivity of 99% alumina is about 30W/(m·K)) and high thermal expansion coefficient, it is generally used in automotive electronics, semiconductor lighting, electrical equipment and other fields.
随着应用研究的不断深入,更多的陶瓷材料引起了科研和工业界的关注。
的热导率 氮化铝陶瓷 是氧化铝陶瓷的 6 至 8 倍,但其热膨胀系数仅为 50%。此外,它还具有绝缘强度高、介电常数低、耐腐蚀性好等优点。除了成本较高之外,氮化铝陶瓷比氧化铝陶瓷具有更好的综合性能。它是一种理想的电子封装基底材料,尤其适用于对热传导率要求较高的领域。
在现有的陶瓷基底材料中 Si3N4 陶瓷衬底 由于其具有高硬度、高机械强度、耐高温和热稳定性、低介电常数和介电损耗、耐磨性和耐腐蚀性等优异性能,因此被认为是一种综合性能优异的陶瓷材料。具有最佳性能的陶瓷材料目前在 IGBT 模块封装中受到青睐,并逐渐取代 Al2O3 和 AlN 陶瓷基板。
除上述陶瓷材料外,氧化铍(BeO)、碳化硅(SiC)、氮化硼(BN)等也可用作陶瓷基底材料。
其中,氧化铍粉末的毒性和较高的烧结温度限制了氧化铍的推广应用;SiC 多晶体的导热系数仅为 67W/(m-K)。此外,SiC 材料的介电常数为 40,是 AlN 陶瓷的 1.4 倍,限制了其高频应用。BN 材料具有良好的综合性能,但作为衬底材料,其优势并不突出,价格昂贵,热膨胀系数与半导体材料不匹配。目前仍在研究之中。
陶瓷基板自开发以来,在结构和制造工艺方面已发展成 HTCC、LTCC、TFC、DBC 和 DPC 等多种形式。
金属化工艺 | 导热系数(瓦/(米-千克) | 印制电路工艺温度 (℃) | 电路制作方法 | 费用 |
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DPC | 20-200 | 200-300 | 薄膜 + 电镀 | 更高 |
DBC | 20-200 | 1065-1085 | 高温粘接 | 高 |
AMB | 20-220 | 800 | 高温纤维焊接+蚀刻+无电镀 | 最高 |
HTCC | 16-17 | 1300-1600 | 厚膜烧结 | 最高 |
LTCC | 2-3 | 850-900 | 厚膜烧结 | 高 |
HTCC/LTCC 底物 通过叠加多层绿色薄片(金属通孔排列)然后烧结制备,可实现基板内部的垂直互连,提高封装集成度。DPC 陶瓷基板可采用激光钻孔(孔径一般为 60μm~120μm)和电镀孔填充技术制备金属通孔。由于孔内电镀填充了致密的铜柱,导电导热性能良好,因此可以实现陶瓷基板上上下电路层之间的垂直互连。在此基础上,通过电镀加厚等技术制备坝体,就可以得到含有坝体结构的三维陶瓷基板。
广阔的市场前景
全球陶瓷基板市场蓬勃发展,市场规模稳步增长。
根据华西证券研究所的报告,2020 年全球陶瓷基板市场规模将达到 $89 亿美元。预计2026年全球规模将达到$172.9亿美元,同比增长94.27%,市场前景广阔。
大功率 IGBT 模块继续推动 DBC/AMB 陶瓷基板市场的扩张
DBC 陶瓷基板具有强度高、导热性强、结合稳定等特点,而 AMB 陶瓷基板是在 DBC 的基础上发展起来的,结合强度相对更高。近年来,随着新能源汽车和光伏储能产业的快速发展,IGBT 功率模块的需求增长迅速,对 DBC 和 AMB 陶瓷基板的需求也持续增加。目前,DBC 陶瓷基板的主要生产商有罗杰斯、贺利氏集团、韩国化学工业等;AMB 陶瓷基板的主要生产商有罗杰斯、日本京瓷、日本丸和等。
LED 需求增加
LED 芯片对散热要求极高,汽车照明将进一步增加对氮化铝基板的需求。目前,单芯片 1W 大功率 LED 已实现产业化,3W、5W 甚至 10W 单芯片大功率 LED 也已推出,部分已进入市场。这使得超高亮度 LED 的应用范围不断扩大,逐渐从特殊照明市场走向普通照明市场。随着 LED 芯片输入功率的不断提高,对这些功率 LED 的封装技术也提出了更高的要求。传统基板无法承载大功率热能,而氮化铝陶瓷具有良好的导热性和绝缘性,可以提高 LED 的功率水平和发光效率。功率 LED 已广泛应用于大型户外广告牌、小型显示屏背光、车辆照明、室内和特殊照明等领域。
第三代半导体 SIC 正在加速发展 - AMB 正迅速从中受益
SiC 正在加速发展,AMB 也从中受益。Si3N4陶瓷基板的热膨胀系数接近第三代半导体基板SiC晶体的热膨胀系数,与SiC晶体材料匹配更稳定。虽然国内 AMB 技术已有一定积累,但产品主要是 AIN-AMB 衬底。由于 Si3N4 衬底技术的滞后,我国尚未实现 Si3N4-AMB 的商业化生产。核心技术由美国、德国、日本等国家掌握。
总结
鉴于陶瓷具有良好的导热性、耐热性、高绝缘性、高强度、低热膨胀性、耐腐蚀性和抗辐射性等优点,陶瓷基板被广泛应用于功率器件和高温电子器件封装中。目前,陶瓷基底材料主要包括 Al2O3、AlN、Si3N4、SiC、BeO 和 BN。由于 Al2O3 和 AlN 具有较好的综合性能,因此分别占据了低端和高端陶瓷基板市场的主流。Si3N4 基板由于具有较高的弯曲强度,未来有望应用于大功率、高温电力电子器件(如 IGBT)。封装领域发挥着重要作用。在技术和结构方面,未来陶瓷基板将主要朝着高精度、微型化和集成化的方向继续发展。